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發布時間： 2022 - 09 - 12
FS1015E系列氣體質量流量傳感器是專門為各類醫學用氣體的測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔氣體。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計。測量范圍最大到150SLPM，ISO 15mm連接方式適用于呼吸機、麻醉機等多種醫療設備。
發布時間： 2023 - 06 - 28
FS1100系列氣體質量流量傳感器是專門為各類醫用呼吸機氣體測量和過程控制而設計的。產品采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于空氣、氧氣或空氧混合氣的測量。成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量計，測量范圍最大可到250SLPM。
發布時間： 2022 - 09 - 12
FS4001E系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現對傳感器的靈活配置與參數查詢。
氣體質量流量傳感器
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    MF4000系列氣體質量流量計能直接測量氣體質量流量，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4000工作壓力提高到0.8MPa，測量范圍涵蓋0~50SLPM。MF4000提供多種信號輸出，通過RS323、RS485或I2C數字通訊接口可實現遠程數據采集與設置。MF4000具備LED數字顯示和按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數。
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    MF4600系列氣體質量流量計是均采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4600具有類似于轉子流量計的氣路結構，但該流量計具有清晰直觀的LED顯示屏，可顯示實時流量與累計總量。MF4600直接輸出質量流量，不需要溫度壓力補償。MF4600具備按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數，并具有RS485網絡通訊接口以便于用戶遠程操控及系統集成。機械尺寸和流量范圍可根據客戶需求進行定制。
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    MF4700系列氣體質量流量計均采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。MF4700具有清晰直觀的LED顯示屏，可顯示實時流量與累計總量。MF4700直接輸出質量流量，不需要溫度壓力補償。MF4700具備按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢流量計的參數，并具有RS485網絡通訊接口以便于用戶遠程操控及系統集成。機械尺寸和流量范圍可根據客戶需求進行定制。
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    MF5000系列氣體質量流量計 是矽翔微機電系統有限公司結合微機電系統（MEMS）流量傳感芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于國際領先水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業環境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其獨特的優越性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。
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    MF5100系列氣體質量流量計具有氣體識別功能，可使用電池供電長時間工作，可顯示瞬時和累計流量，并能提供脈沖信號。在外供電狀態下，還可以輸出RS485/4~20mA/0~5VDC等信號。
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    MF5200系列氧氣質量流量計是專門為醫院中心供氧系統中樓層與科室氧氣計量而設計的一款流量計。該流量計具有可分離的顯示器，具有RS485網絡通訊接口以及用戶自定報警功能能更好的實現網絡傳輸和流量監控。MF5212和MF5219可分別測量0~400L/min（標況）和0~1000L/min（標況）氣體流量。用戶可根據需求選擇帶壓力顯示型和不帶壓力顯示型。
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    MF5600系列分體顯示式氣體質量流量計是專門為需要顯示器和表體分離的應用需求而設計的。例如醫院供氧系統、小型空分系統。該流量計的標準工業用戶界面（RS485/4~20mA）及用戶自定報警功能能更好的實現異地或網絡監控?，F有的產品MF5612和MF5619可分別測量0~300SLPM和0~800SLPM氣體流量。
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    MF5700系列便攜式氣體質量流量計是根據我公司自主研發的MEMS流量傳感芯片開發的一款應用范圍寬、低功耗、便攜式、帶顯示、能夠實現網絡化的計量儀表。該儀表適用于各種工業、商業應用。
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    MF5806系列數字式氧氣流量計采用本公司自主研發的微機電系統（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于醫用中心供氧系統、供急救給氧和缺氧吸入用。LCD數字顯示提供瞬時流量、累計流量和用氧時間，直觀簡便?？梢詭椭t生更準確的判斷病人的吸氧量。自動歷史數據存儲、用氧量數據統計。其精度高、量程范圍大。提供數字信號輸出，配有RS485通訊模塊，可以實現網絡化系統管理，與醫院網絡系統連接實現吸氧自動結算。按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢氧氣流量計的參數。密碼管理，保障數據安全。采用電池或外部電源均可。還具有吸氧過量報警功能。
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    MF5806-G系列MEMS智能氣瓶流量計基于專有的MEMS傳感器技術和物聯網技術，為氣瓶的灌充、存儲、運輸和使用中的智能管理提供了一個完整的解決方案。MF5806-G采用矽翔微機電研發的MEMS流量傳感芯片制作，可測量氣瓶的瞬時流量、累計用量、用氣時間以及監測氣瓶余量，并可通過藍牙或LoRa無線信號傳輸到手機等終端設備。該設備采用電池或外部電源均可，安裝靈活；按鍵功能，允許用戶在現場調整或查詢參數；密碼管理，保障數據安全；還具有流量過高/過低及氣瓶余量過低報警功能。
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    MF5900系列氣體質量流量計是根據我公司自主研發的MEMS流量傳感芯片開發的一款流量范圍大、帶顯示、帶按鍵，能夠實現網絡化的計量儀表。該儀表可用于多種氣體流量監測、測量和控制等應用場合。
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    MF-FD系列管道式質量流量計是專為工業氣體進行各種管理和控制而設計。該系列儀表可提供直觀的質量流量信息，友好的用戶界面設計（RS485/4~20mA/脈沖等）可輕松的進行數據處理。該類產品可適用于管徑25～100mm的管道，且精度可達到±(1.5+0.5FS)%，工作環境溫度為-20～+60oC，最大工作壓力1.5 MPa，同時，我公司的封裝技術確保了流量計的衛生指標，可應用于飲料食品行業的氣體測量，如：CO2  。除此之外，該產品還可廣泛應用于其他行業的氣體測控，如：冶金行業的特殊氣體監控，化工行業的氫氣流量監控，生產過程中的氧氣、氮氣、氦氣、氬氣、壓縮空氣等的監控。
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