MFC1100系列質量流量控制器采用公司專有的MEMS Thermal-D熱量傳感技術與智能控制電路,這種獨特的質量流量傳感技術消除了一些擴散率相似的氣體的氣體敏感性,并允許在編程后進行氣體識別。本產品可用于動態范圍為100:1的過程控制,其控制范圍為0.1至0.8MPa(15至120 PSI)的壓力和0至55℃的補償溫度。該產品的設計小巧,標準連接器為6~8mm快速接頭,其他定制連接器可根據要求提供。