FS5001L系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感器芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用表貼式安裝,使安裝尺寸更加緊湊,可以很容易的實現在小空間內的多傳感器集成。
FS5001E系列氣體質量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發的微機電系統(MEMS)流量傳感器芯片來制作,適用于各類清潔、干燥氣體。傳感器采用表貼式安裝,使安裝尺寸更加緊湊,可以很容易的實現在小空間內的多傳感器集成。
產品特點:1、傳感器靈敏度高,有極小的始動流量
2、表貼式安裝,結構緊湊
3、多種信號輸出
4、零點穩定度高
5、全量程高穩定性、高精確度和優良的重復性
6、低功耗、低壓損
本次升級,采用了本公司第四代MEMS芯片,提高了產品可靠性,并改善了溫度效應:但機械尺寸,電氣性能等都保持不變,可以實現對 FS5001L的直接替代。升級后的型號為FS5001E。詳情請查看產品中心。
附件:關于FS5001L系列氣體質量流量傳感器升級為FS5001E的通知.pdf